扫描电镜样品热损伤

扫描电镜电子束持续轰击低热导率样品时，会产生样品热损伤问题。

扫描电镜边缘增强假象

扫描电镜观测带有陡峭台阶结构样品时，容易出现边缘增强假象。

扫描电镜观测具有高低落差的样品时，容易出现图像景深不足问题。

扫描电镜长时间连续采集图像时，会出现二次电子信号衰减现象。

扫描电镜观测多材质复合样品、多层薄膜、粗糙基底时，常出现图像衬度不均匀的现象，画面呈现不规则明暗斑驳、局部忽亮忽暗，并非样品真实结构。

扫描电镜在高倍率观测立体结构、粗糙表面、多孔样品、台阶结构时，极易出现景深不足的问题，表现为画面局部清晰、前后区域模糊，凸起位置对焦正常，凹陷位置脱焦虚化，无法同时呈现样品整体微观细节，严重影响三维形貌观测与微尺寸测量精度。

扫描电镜样品边缘区域图像模糊、轮廓发虚，边界细节丢失，而样品平面区域成像正常，这种边缘清晰度衰减现象，会影响微纳结构轮廓观测与尺寸测量，在薄片、台阶、立体样品观测时尤为突出。

扫描电镜在成像采集过程中，画面出现规律重复的横向或者纵向条纹，掩盖样品真实微观形貌，降低图像分辨率，是观测中经常遇到的成像干扰问题。