扫描电镜背散射信号随加速电压演变的成像特征

扫描电镜当中的背散射电子是入射电子与样品原子核发生弹性散射之后折返出来的信号，其产出效率和样品局部平均原子序数紧密相关，是区分多相组分的重要信号来源。

扫描电镜低能电子传输对成像衬度的调控机制

扫描电镜在选用低加速电压开展观测时，从样品表层激发出的二次电子能量普遍偏低，这类电子在向探测器行进的途中极易受到样品表面电场、残余磁场以及腔体内部气体分子的干扰。

扫描电镜成像时，入射电子束轰击样品表层，电子会在材料内部发生散射，形成一定范围的作用区域，电子束穿透深度由加速电压和样品基体材料属性共同决定。

扫描电镜依靠聚焦电子束逐点扫过样品表面，激发产生二次电子信号，通过信号探测器收集信号完成表面形貌成像。

扫描电镜成像时，入射电子束轰击样品之后会在材料内部形成一定范围的电子作用区，电子束会穿透样品表层向内部扩散，穿透深度由加速电压和样品材料密度共同决定。采集二次电子信号时，只有极浅表层产生的电子可以逸出被探测。

扫描电镜依靠二次电子信号采集样品表面形貌信息，二次电子从样品表面发射时具备发散特性，不同位置发射的电子出射方向各不相同，探测器拥有固定的接收角度范围，只有落入收集窗口内的电子才能够被有效捕获。

多信号协同分析系统依托扫描电子束激发样品产生的各类特征信号，实现微观形貌、元素信息一体化表征，是微纳工艺质控、失效分析不可或缺的核心设备。

微纳形貌表征系统是面向材料、半导体与微纳加工领域的高端分析设备，依靠高能电子束与固体样品表面的相互作用获取微观信息，摆脱光学显微镜可见光波长带来的衍射限制，能够实现纳米尺度的表面形貌观测。