扫描电镜电子束诱导表面污染降低图像分辨率

扫描电镜长期观测有机样品、含碳样品时，容易出现电子束诱导污染，在样品表面形成一层薄碳层，逐步降低图像分辨能力。

扫描电镜样品表面电荷积累造成图像失真

在微纳表征工作中，扫描电镜依靠高能电子束轰击样品表面，通过收集二次电子信号完成表面形貌成像。

扫描电镜拍摄图像时出现颗粒状噪点，画面粗糙，微小形貌细节被噪声掩盖，就是图像信噪比偏低。

在扫描电镜成像过程中，经常出现样品结构边缘轮廓模糊、细节丢失的现象，即便调整放大倍数，边缘依旧无法呈现清晰锐利的边界，直接影响尺寸测量与微观形貌观察效果。

扫描电镜在长时间观测微小区域时，容易出现样品表面碳污染问题。设备真空腔体内残留的碳氢有机分子，在高能电子束的持续轰击下发生分解，碳元素会沉积在电子束扫描的样品点位上，在样品表面形成一层黑色碳膜。

扫描电镜观测绝缘样品时，样品荷电是常见的成像干扰问题。高能入射电子持续打在样品表面，样品本身导电能力弱，入射电荷无法快速导出，不断积聚在表层，形成局部静电场。

扫描电镜观测大视场样品时，经常出现画面中心成像锐利，图像边缘模糊、细节丢失的现象，很多操作人员会误以为是样品问题，实际上大多来自物镜像差、聚焦补偿与扫描畸变等因素。

扫描电镜成像依靠电子束逐行扫描样品表面，采集二次电子信号转化为灰度图像，在样品观测过程中，图像上出现规律的周期性横向或纵向横纹是十分常见的成像故障。