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扫描电镜观测具有高低落差的样品时，容易出现图像景深不足问题。现象表现为样品凸起部位成像清晰，但凹陷底层区域失焦模糊，三维结构无法同时完整呈现，高倍率下该缺陷更加明显。不同品牌设备物镜设计、可变光阑配置参数不同，景深调节能力存在差距，大束流工况下差异会进一步放大。

成因：选用大孔径光阑，会提升信号强度，但同时缩短景深；加速电压过高，电子束焦深变短；样品表面形貌起伏过大，超出当前参数下的有效焦深范围。

改善方案：更换更小孔径的物镜光阑，延长有效景深；适当降低加速电压，兼顾形貌衬度与焦深；采用倾斜样品台，减少样品高度方向上的高差；结合设备参数选型，优先选用支持动态聚焦功能的机型，对高低不同区域分别做焦点补偿。