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在微纳表征工作中，扫描电镜依靠高能电子束轰击样品表面，通过收集二次电子信号完成表面形貌成像。对于不具备导电特性的样品，入射电子无法快速导走，会持续在样品表面积累，形成局部电场，也就是荷电效应。电荷堆积会偏转入射电子束的运动轨迹，干扰二次电子的收集效率，直观表现为图像局部大面积发白、区域明暗闪烁，严重时画面出现不规则亮斑、线条畸变，无法获取真实的样品形貌信息。荷电程度和样品绝缘程度、样品厚度、加速电压直接相关，高加速电压下入射电子能量更高，电荷累积速度更快，图像失真现象会更加明显。

很多操作人员遇到图像异常时，要调整对比度与亮度参数，往往无法从根源解决荷电带来的成像缺陷。样品本身的结构也会影响电荷分布，样品表面存在孔洞、台阶、缝隙时，电荷容易在边缘位置富集，造成边缘轮廓异常增亮。不同品牌型号设备的电子枪、探测器性能参数不同，对于弱导电样品的耐受能力存在差异，部分设备配备低真空模式，可以在一定程度上缓解荷电，但也会带来图像分辨率下降的问题。

改善荷电效应可以从样品制备、设备参数调整两大方向入手。样品制备层面，绝缘样品可通过蒸镀薄导电膜的方式处理，选用碳膜或者金属薄膜，薄膜厚度需要控制在合理区间，过厚会掩盖样品本身细微形貌；对于多孔、疏松样品，镀膜时需要保证膜层均匀连续。设备参数层面，适当降低加速电压，减少入射电子的注入总量，同时减小束流，降低电荷积累速率；也可以开启设备的低真空观测模式，利用腔体内残余气体分子中和表面电荷。测试前做好样品与样品台之间的导电连接，保证接地可靠。测试过程中，尽量缩短电子束在同一区域停留扫描时间，避免单点长时间照射造成电荷持续堆积。