扫描电镜电子束诱导表面污染降低图像分辨率

扫描电镜长期观测有机样品、含碳样品时，容易出现电子束诱导污染，在样品表面形成一层薄碳层，逐步降低图像分辨能力。

扫描电镜样品表面电荷积累造成图像失真

在微纳表征工作中，扫描电镜依靠高能电子束轰击样品表面，通过收集二次电子信号完成表面形貌成像。

掩膜光刻依靠空间光调制器调制光束，将数字化图形投影至光刻胶表面，光束光场分布直接决定曝光剂量均匀性，视场内剂量不均会造成同一批次样品、同一片基底不同位置线宽差异过大，是微纳加工中典型的工艺难题。

在微纳加工领域，无掩膜光刻依靠数字光学投影直接在光刻胶表面生成目标图形，省去传统物理掩模版，非常适合小批量、多品种的研发试样加工。

扫描电镜拍摄图像时出现颗粒状噪点，画面粗糙，微小形貌细节被噪声掩盖，就是图像信噪比偏低。

在扫描电镜成像过程中，经常出现样品结构边缘轮廓模糊、细节丢失的现象，即便调整放大倍数，边缘依旧无法呈现清晰锐利的边界，直接影响尺寸测量与微观形貌观察效果。

临界尺寸是微纳图形核心指标，无掩膜光刻机加工时，经常出现同一片基底上不同位置线条宽窄不一致，也就是临界尺寸波动。

无掩膜光刻机依靠数字图形直写完成曝光，无需制作实体掩模版，在小批量微纳结构加工中具备突出优势，但在大尺寸基底加工时容易出现图形拼接偏差，直接影响器件良率。